在工件表面同时深入氮、碳元素，且以渗氮为主的工艺方法， 就是在 Fe-N 系的共析温度以下530 ~ 570 ℃，进行氮碳共渗的过程，俗称软氮化。其共渗机理与渗氮相似，随着处理时间的延长，表面氮浓度不断的增加，发生反应扩散，形成白亮层及扩散层。氮碳共渗使用的介质必须能在工艺温度下分解出活性 N、C 原子。软氮化的过程与其他化学热处理如渗碳和氮化法一样，可分为三个阶段 :
(1)软氮化介质的分解，产生活性碳原子和活性氮原子。
(2)分解出来的活性碳、氮原子被钢铁表层吸收，并且达到饱和状态。
(3)钢的表面层饱和的氮向内层深处扩散。已经发展提出并且已经实现的软氮化的方法有很多 :
(1)氰盐盐浴的化学反应
使用氰化盐为主要原料，通入空气或者氧气，氧化成一定浓度的氰酸盐进行软氮化反应 :2NaCHO + O2→ 2NaCNO2NaCNO+O2→ Na2CO3+CO+2[N]其中 CO 继续分解 :2CO → [C] + CO2
(2)尿素 + 碳酸盐软氮化的化学反应 :2(NH2)2CO+Na2CO3→ 2NaCHO+2NH3+CO2+H2O2NH3→ 2N+3H22CO → [C] + CO2
(3)吸热型气氛 + 氨的化学反应 :2NH3→ 2N+3H22CO → [C] + CO2国外用吸热式的气氛比较多。
(4)甲酰胺热分解的化学反应 :甲酰胺在 400 ~ 700 ℃温度范围内，按下列反应进行 :HCONH2→ NH3+COHCONH2→ H2O + HCN2NH3→ 2N+3H22HCN → 2[N] + H2+ 2[C]2CO → C+CO2
(5)尿素热分解的化学反应 :将尿素加热到熔点 127 ℃时，即分解，在不同的温度范围，其分解的产物也不同。在 500 ℃以上的炉膛内，尿素热分解反应比较完全，其反应 :CO(NH2)2→ CO+2H2+2[N]2CO → CO2+ [C]
综合上诉所有的反应式来看，尽管使用的软氮化介质不同，反应的结果都产生活性碳原子和活性氮原子，从而达到软氮化的目的。
